Máquina de litografía, alineador de máscaras, máquina de fotograbado
Introducción del producto
La fuente de luz de exposición utiliza LED UV importados y un módulo de conformación de la fuente de luz, con baja emisión de calor y buena estabilidad de la fuente de luz.
La estructura de iluminación invertida tiene un buen efecto de disipación de calor y un efecto de proximidad de la fuente de luz, y el reemplazo y mantenimiento de la lámpara de mercurio son simples y convenientes. Equipado con un microscopio binocular de doble campo de alta magnificación y una pantalla LCD ancha de 21 pulgadas, se puede alinear visualmente a través de
Ocular o CCD + pantalla, con alta precisión de alineación, proceso intuitivo y funcionamiento cómodo.
Características
Con función de procesamiento de fragmentos
La presión de contacto de nivelación garantiza la repetibilidad a través del sensor.
La separación de alineación y la separación de exposición se pueden configurar digitalmente.
Utilizando un ordenador integrado y una pantalla táctil, es sencillo y cómodo, bonito y generoso.
Placa de tipo tirador para subir y bajar, simple y conveniente.
Admite exposición por contacto al vacío, exposición por contacto duro, exposición por contacto a presión y exposición por proximidad.
Con función de interfaz de nanoimpresión
Exposición de una sola capa con una sola tecla, alto grado de automatización.
Esta máquina tiene buena fiabilidad y una demostración sencilla, especialmente adecuada para la enseñanza, la investigación científica y las fábricas en colegios y universidades.
Más detalles
Especificación
1. Área de exposición: 110 mm × 110 mm;
2. ★ Longitud de onda de exposición: 365 nm;
3. Resolución: ≤ 1 m;
4. Precisión de alineación: 0,8 m;
5. El rango de movimiento de la mesa de escaneo del sistema de alineación deberá cumplir como mínimo con: Y: 10 mm;
6. Los tubos de luz izquierdo y derecho del sistema de alineación pueden moverse por separado en las direcciones X, Y y Z, dirección X: ± 5 mm, dirección Y: ± 5 mm y dirección Z: ± 5 mm;
7. Tamaño de la mascarilla: 2,5 pulgadas, 3 pulgadas, 4 pulgadas, 5 pulgadas;
8. Tamaño de la muestra: fragmento, 2 ", 3", 4 ";
9. ★ Adecuado para espesores de muestra: 0,5-6 mm, y puede soportar piezas de muestra de hasta 20 mm (personalizable);
10. Modo de exposición: temporización (modo de cuenta regresiva);
11. No uniformidad de la iluminación: ＜ 2,5%;
12. Microscopio de alineación CCD de doble campo: lente de zoom (1-5 aumentos) + lente objetivo del microscopio;
13. El recorrido del movimiento de la máscara con respecto a la muestra deberá cumplir como mínimo: X: 5 mm; Y: 5 mm; : 6º;
14. ★ Densidad de energía de exposición: > 30 MW / cm2,
15. ★ La posición de alineación y la posición de exposición funcionan en dos estaciones, y los servomotores de las dos estaciones conmutan automáticamente;
16. La presión de contacto de nivelación garantiza la repetibilidad a través del sensor;
17. ★ La separación de alineación y la separación de exposición se pueden configurar digitalmente;
18. ★ Tiene interfaz de nanoimpresión e interfaz de proximidad;
19. ★ Funcionamiento mediante pantalla táctil;
20. Dimensiones generales: Aproximadamente 1400 mm (largo) 900 mm (ancho) 1500 mm (alto).
