Máquina de litografía Máquina de fotograbado con alineador de máscaras
Introducción del producto
La fuente de luz de exposición adopta un LED UV importado y un módulo de conformación de fuente de luz, con poco calor y buena estabilidad de la fuente de luz.
La estructura de iluminación invertida tiene un buen efecto de disipación de calor y efecto de cierre de la fuente de luz, y el reemplazo y mantenimiento de la lámpara de mercurio son simples y convenientes.Equipado con un microscopio binocular de doble campo de gran aumento y una pantalla LCD de 21 pulgadas de ancho, se puede alinear visualmente a través de
Ocular o pantalla CCD +, con alta precisión de alineación, proceso intuitivo y operación conveniente.
Características
Con función de procesamiento de fragmentos
La presión de contacto de nivelación garantiza la repetibilidad a través del sensor
La brecha de alineación y la brecha de exposición se pueden configurar digitalmente
Usando computadora integrada + operación de pantalla táctil, simple y conveniente, hermosa y generosa
Placa tipo tirador hacia arriba y hacia abajo, simple y conveniente
Admite exposición por contacto al vacío, exposición por contacto duro, exposición por contacto a presión y exposición por proximidad
Con función de interfaz de nanoimpresión
Exposición de una sola capa con una tecla, alto grado de automatización
Esta máquina tiene buena confiabilidad y una demostración conveniente, especialmente adecuada para la enseñanza, la investigación científica y las fábricas en colegios y universidades.
Más detalles
Especificación
1. Área de exposición: 110 mm × 110 mm ；
2. ★ Longitud de onda de exposición: 365 nm;
3. Resolución: ≤ 1m;
4. Precisión de alineación: 0,8 m;
5.El rango de movimiento de la mesa de escaneo del sistema de alineación deberá cumplir al menos con: Y: 10 mm;
6. Los tubos de luz izquierdo y derecho del sistema de alineación pueden moverse por separado en las direcciones X, y y Z, dirección X: ± 5 mm, dirección Y: ± 5 mm y dirección Z: ± 5 mm;
7. Tamaño de la máscara: 2,5 pulgadas, 3 pulgadas, 4 pulgadas, 5 pulgadas;
8. Tamaño de la muestra: fragmento, 2", 3", 4";
9. ★ Adecuado para espesores de muestra: 0,5-6 mm y puede admitir piezas de muestra de 20 mm como máximo (personalizadas);
10. Modo de exposición: sincronización (modo de cuenta regresiva);
11. No uniformidad de iluminación: ＜ 2,5%;
12. Microscopio de alineación CCD de campo dual: lente de zoom (1-5 veces) + lente objetivo de microscopio;
13. La carrera de movimiento de la máscara con respecto a la muestra deberá cumplir al menos con: X: 5 mm;Y: 5 mm;: 6º；
14. ★ Densidad de energía de exposición: > 30MW/cm2,
15. ★ La posición de alineación y la posición de exposición funcionan en dos estaciones, y el servomotor de dos estaciones cambia automáticamente;
16. La nivelación de la presión de contacto garantiza la repetibilidad a través del sensor;
17. ★ La brecha de alineación y la brecha de exposición se pueden configurar digitalmente;
18. ★ Tiene interfaz de nanoimpresión e interfaz de proximidad;
19. ★ Operación de pantalla táctil;
20. Dimensión total: Aproximadamente 1400 mm (largo) 900 mm (ancho) 1500 mm (alto).
